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深卫科技有限公司
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单晶硅棒硅片 |
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| 产品 >> 单晶硅棒硅片 >> 所有小类 |
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产品编号： |
SOW06 |
产品名称： |
氧化硅片 |
规 格： |
6“，8“ |
产品备注： |
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产品类别： |
单晶硅棒硅片 |
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| 产 品 说 明 |
氧化硅片
氧化硅片是指在硅片表面热生长一层均匀的介质薄膜，用作绝缘、或者掩模材料。氧化工艺包括高温干氧氧化、高温湿氧氧化。公司采用进口先进氧化设备、工艺实现氧化层均匀、准确的生成。
尺寸：2", 4", 6", 8", 10", 12"
N型/ P型、本征（不掺杂）
总厚度: 250 ~ 600 μm 可定制
厚度误差: ±10μm
氧化层厚度: 50nm ~ 2000nm（常规100nm，200nm，300nm，500nm，1000nm）
平整度（TIR）: < 3 μm
翘曲度（BOW）: ≤15μm
TTV: ≤15μm，30μm
粗糙度: < 0.5nm
电阻率: : 0.001~ 20000 (Ω·cm) 按客户要求
晶向：〈100〉；〈110〉；〈111〉
级别: P级
表面处理：单抛，双抛
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| 点击数：214 录入时间：2024-08-05 【打印此页】 【关闭】 |
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