深卫科技有限公司致力于为客户提供专业的半导体硅片、硅片外延片、SOI硅片、碳化硅衬底及外延片，并承接半导体硅片的镀膜、外延及晶圆代工服务。 镀膜：提供LPCVD、PECVD及MOCVD镀膜代工服务。   外延生长：提供每年100万片4英寸至12英寸的硅片外延的生产代工能力。 MEMS加工：涵盖涂胶、光刻、键合、刻蚀、扩散、镀膜等工艺。拥有完整的MEMS工艺设计、加工平台，可为国内外同行提供微纳器件研发、工... [详细]