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衬底材料
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产品编号:
GLWF06
产品名称:
石英玻璃衬底
规  格:
4“,6“
产品备注:
产品类别:
衬底材料
 
   产 品 说 明
2英寸石英晶圆参数
材质:石英玻璃
直径: 50.8 ± 0.25 mm
厚度: 500 ± 25um
平边长: 16±2.0mm
抛光:双面抛光
正面粗糙度:Ra≤0.5nm
背面粗糙度:Ra≤0.5nm
光洁度:SD 60/40
平行度:≤30"

4英寸石英晶圆参数
材质:石英玻璃
直径: 150 ± 0.25 mm
厚度: 500 ± 25um
平边长: 30±2.0mm
抛光:双面抛光
正面粗糙度:Ra≤0.5nm
背面粗糙度:Ra≤0.5nm
光洁度:SD 60/40
平行度:≤30"
 
6英寸石英晶圆参数
材质:石英玻璃
直径: 150 ± 0.25 mm
厚度: 1000 ± 25um
平边长: 47±2.0mm
抛光:双面抛光
正面粗糙度:Ra≤0.5nm
背面粗糙度:Ra≤0.5nm
光洁度:SD 60/40
平行度:≤30"
点击数:51  录入时间:2024-08-05 【打印此页】 【关闭
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